氣體分子污染物(AMC),又名為懸浮分子污染物/氣載分子污染物,是危害微電子生產(chǎn)工藝并導(dǎo)致成品率降低的分子態(tài)化學(xué)物質(zhì),大多出現(xiàn)在潔凈室和受控環(huán)境的大氣中。 對于微電子潔凈室控制的挑戰(zhàn)在于AMC分子污染物的尺寸比粒子要小得多,會在半導(dǎo)體制造的柵底氧化、薄膜沉積、多晶硅和硅化物形成、接觸成型、光刻等多個關(guān)鍵工藝上對晶片表面、設(shè)備表面產(chǎn)生侵蝕,還會產(chǎn)生非控制性硼化物或磷化物摻雜、晶圓表面或光學(xué)鏡面產(chǎn)生陰霾、微粒產(chǎn)塵等危害,從而大大影響了產(chǎn)品的質(zhì)量。晶圓加工流程 圖源:泛林...
近年來,伴隨著我國國民經(jīng)濟的快速發(fā)展和人民生活水平的提高,國家醫(yī)療衛(wèi)生事業(yè)同樣也得到了迅猛發(fā)展,新的醫(yī)療技術(shù)對室內(nèi)環(huán)境的要求不斷提高。其中手術(shù)室凈化空調(diào)設(shè)計成為綜合醫(yī)院空調(diào)設(shè)計最為重要的一環(huán),潔凈手術(shù)室凈化設(shè)計的目的是通過凈化設(shè)計有效阻止室外污染物侵入室內(nèi),降低術(shù)后感染率,同時迅速有效排除室內(nèi)的污染氣,防止病菌擴散。一、室內(nèi)設(shè)計參數(shù)的確定凈化空調(diào)設(shè)計參數(shù)的確定與普通舒適性空調(diào)系統(tǒng)有很大的區(qū)別。從溫濕度來說,舒適性空調(diào)的室內(nèi)溫濕度的確定只考慮工作人員的舒適性要求,而凈化空調(diào)不僅...
★NEWS★合格的第三方潔凈室檢測機構(gòu)普遍要求要有全面的潔凈相關(guān)檢測能力,可為藥品GMP車間、電子無塵車間、食品藥品包裝材料車間、無菌醫(yī)療器械車間、醫(yī)院潔凈手術(shù)室、生物普遍實驗室、保健食品GMP車間、化妝品/消毒品車間、動物實驗室、獸藥GMP車間、飲用桶裝水車間等潔凈室、潔凈廠房提供第三方檢測、調(diào)試、咨詢等專業(yè)技術(shù)服務(wù)。 潔凈室檢測范圍一般包括:潔凈室環(huán)境等級評定、工程驗收檢測,包括食品、保健品、化妝品、桶裝水、牛奶生產(chǎn)車間、電子產(chǎn)品產(chǎn)車間、GMP車間...
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1. 空氣過濾器主要參數(shù)1.1 凈化空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)過濾器尺寸⑴ 空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)中最常用的過濾器; 無論是框式、袋式或W 式,名義尺寸通常為610mm X 610mm, 實際上就是發(fā)達國家24″X 24″的規(guī)格,對應(yīng)的外框尺寸則因生產(chǎn)廠不同單邊分別為592mm至597mm。⑵ 凈化系統(tǒng)末端用的高效過濾器, 發(fā)達國家始終以610mm ( 24″)為主, 其派生尺寸為203mm、305mm、762mm、915mm、1219mm...
藥廠潔凈區(qū)劃分ABCD,醫(yī)藥工業(yè)潔凈室和潔凈區(qū)是以微粒和微生物為主要控制對象,同時還應(yīng)對其環(huán)境溫度、濕度、壓差、照度、噪聲等作出規(guī)定。01藥廠潔凈區(qū)劃分ABCD等級A級:高風(fēng)險操作區(qū),如:灌裝區(qū)、放置膠塞桶、敞口安瓿瓶、敞口西林瓶的區(qū)域及無菌裝配或連接操作的區(qū)域。通常用層流操作臺(罩)來維持該區(qū)的環(huán)境狀態(tài)。層流系統(tǒng)在其工作區(qū)域必須均勻送風(fēng),風(fēng)速為0.36-0.54 m/s(指導(dǎo)值)。應(yīng)有數(shù)據(jù)證明層流的狀態(tài)并須驗證。在密閉的隔離操作器或手套箱內(nèi),可使用單向流或較低的風(fēng)速。B級:...
為了讓潔凈室能夠達到良好的效果,國內(nèi)外有不少相關(guān)文獻的發(fā)表,闡述角度也各有不同。但是,實際操作很難做到理想地配合,而且設(shè)計者很難把握施工安裝質(zhì)量以及使用和管理情況?!毕旅嬷饕且詽崈羰覂艋胧┲羞_到潔凈度要求的四個必要條件進行闡述!一、送風(fēng)潔凈度要保證送風(fēng)潔凈度符合要求,關(guān)鍵是凈化系統(tǒng)末級過濾器的性能和安裝。凈化系統(tǒng)末級過濾器一般采用高效過濾器或亞高效過濾器。按我國標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定高效過濾器效率分四檔:A類為≥99.9%,B類為≥99.99%,C類為≥99.999%,D類為(對≥0。...
用于生產(chǎn)精密電子產(chǎn)品的受控環(huán)境就是電子工業(yè)潔凈室。該類潔凈室內(nèi)的污染物在空氣中的微粒、溫度、濕度、氣壓、氣流模式、空氣運動、振動、噪音、生物體和照明方面受到高度控制。對于敏感的先進電子產(chǎn)品,現(xiàn)代OEM不能冒任何微粒污染的風(fēng)險——微芯片上的微小灰塵可能與巨石一樣具有破壞性。受污染的產(chǎn)品每年給電子制造商造成數(shù)百萬美元的損失,可能導(dǎo)致失去最重要的ISO體系認(rèn)證,并產(chǎn)生難以撼動的負(fù)面宣傳。因此需要建立電子潔凈室,以防止高精度的電子產(chǎn)品損壞。同時,電子制造商必須確保其制造空間的清潔,以...
近年,越來越多的食品廠開始考慮在內(nèi)包裝等工段區(qū)域建設(shè)潔凈車間,建設(shè)潔凈車間可有效減少生產(chǎn)出的產(chǎn)品受到微生物污染,有效提高產(chǎn)品品質(zhì)和生產(chǎn)效益。1何為潔凈車間潔凈車間也叫無塵車間、潔凈室、無塵室,是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性...
潔凈室的設(shè)計計算潔凈室的設(shè)計計算包括空調(diào)負(fù)荷計算,風(fēng)量計算,潔凈度校核計算等內(nèi)容??照{(diào)負(fù)荷計算潔凈室的空調(diào)負(fù)荷包括復(fù)季冷負(fù)荷與冬季熱負(fù)荷。有人認(rèn)為計算方法與一般空調(diào)負(fù)荷的計算方法相同。其實,潔凈室的負(fù)荷計算與一般空調(diào)的負(fù)荷計算有許多區(qū)別。對于許多材料中推薦的負(fù)荷估算指標(biāo),不知道這些估算指標(biāo)的詳細(xì)來源,在工程實踐中發(fā)現(xiàn)這些估算指標(biāo)比實際負(fù)荷大很多。對于一些沒有經(jīng)驗的設(shè)計人員,也許會受到估算指標(biāo)的影響而不相信自己的計算數(shù)據(jù),進而加大安全裕量,或者干脆套用估算指標(biāo),這是非常有害的。...