一、高純氣體 、特種氣體管道及其閥門附件等的材質(zhì)應(yīng)符合工程設(shè)計文件的要求。采用低碳不銹鋼管時，其安裝施工應(yīng)符合規(guī)范的規(guī)定。二、管路系統(tǒng)的試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗(yàn)和純度測試。三、高純氣體、特種氣體供應(yīng)設(shè)施安裝前，應(yīng)按工程設(shè)計文件和產(chǎn)品說明書的要求，檢查設(shè)備及填充的純化材料、閥門和管件的完整性、密封性，并應(yīng)做檢查記錄。檢查數(shù)量：按氣體品種、分系統(tǒng)全數(shù)檢查。檢驗(yàn)方法：觀察檢查、尺量。四、純化設(shè)備、特氣柜的搬運(yùn)、就位應(yīng)符合下列規(guī)定：1搬入潔凈室(區(qū))前應(yīng)進(jìn)行清潔，符合...
一、微振控制設(shè)施施工（一）一般規(guī)定1微振控制設(shè)施應(yīng)與潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)、動力公用工程、凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)等相關(guān)設(shè)施同步施工安裝。2微振控制設(shè)施的施工應(yīng)根據(jù)具體工程項(xiàng)目特點(diǎn)，并按微振控制設(shè)施的設(shè)計、測試和建造程序進(jìn)行。（二）微振控制設(shè)施施工主控項(xiàng)目（1）潔凈廠房的微振控制設(shè)施的施工應(yīng)按下列階段進(jìn)行測試分析：1現(xiàn)場環(huán)境振動測試及分析；2建筑結(jié)構(gòu)振動特性測試及分析；3精密設(shè)備儀器安裝場所環(huán)境振動測試及分析；4竣工驗(yàn)收測試及分析。檢查數(shù)量：全數(shù)檢查。檢驗(yàn)方法：核查測試分析報告。（2...
一、一般規(guī)定（1）屏蔽設(shè)施的施工安裝應(yīng)制定屏蔽體施工方案，嚴(yán)格審查圖紙。（2）屏蔽材料選擇、屏蔽體(墻體則包括觀察窗)厚度、屏蔽體結(jié)構(gòu)應(yīng)嚴(yán)格符合設(shè)計要求。二、屏蔽體（1）當(dāng)電磁屏蔽采用混凝土?xí)r，其密度不得低于設(shè)計要求，并不小于2.35t/m3，骨料宜用重晶石(硫酸鋇)，厚度不得小于設(shè)計要求。（2）應(yīng)制定選配混凝土并保證其達(dá)到密度大于等于2.35t/m3的措施、混凝土養(yǎng)護(hù)過程中產(chǎn)生的溫度與外界溫度之差不超過20℃的措施和澆搗、養(yǎng)護(hù)施工縫處理措施，并應(yīng)制定墻體和屋頂模板支護(hù)方案。...
一、原理（1）保持室內(nèi)為正壓或負(fù)壓均能滿足檢驗(yàn)要求，但條件允許時，負(fù)壓潔凈室宜用正壓檢驗(yàn)，正壓潔凈室宜用負(fù)壓檢驗(yàn)。（2）可按以下方法進(jìn)行檢測：1.壓力衰減法使室內(nèi)達(dá)到某一壓力(正壓或負(fù)壓)，關(guān)閉加壓或抽負(fù)壓系統(tǒng)，觀察壓力隨時間哀減的情況，記錄下壓力衰減到起始壓力的半時所用的時間，即為測量室內(nèi)正壓或負(fù)壓的半衰期。2.恒壓法使室內(nèi)達(dá)到某一正壓，同時向室內(nèi)補(bǔ)氣，使室壓達(dá)到要求的穩(wěn)定值而不下降時的補(bǔ)氣量即為漏泄量。使室內(nèi)達(dá)到某一負(fù)壓，使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量...
一、溫濕度的檢測（1）無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應(yīng)符合下列要求：1室內(nèi)空氣溫度和相對濕度測定之前，空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數(shù)字式溫濕度計；濕度的檢測可采用通風(fēng)式干濕球溫度計、數(shù)字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點(diǎn)傳感器等。根據(jù)溫濕度的波動范圍，應(yīng)選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的最小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測儀表的最小刻度不宜高于2%。測點(diǎn)為房間中間一點(diǎn)，應(yīng)在溫濕度讀數(shù)穩(wěn)定后記錄。測完室內(nèi)溫濕度后，還應(yīng)同時測出室外溫濕度。（2）...
一、一般規(guī)定1承擔(dān)潔凈室施工的單位應(yīng)按規(guī)范的相關(guān)規(guī)定，建立質(zhì)量管理體系。2潔凈室的各級施工人員應(yīng)有必要的潔凈室施工經(jīng)歷，明確的分工和職責(zé)。3特殊工種作業(yè)人員應(yīng)持證上崗。4施工單位應(yīng)編制施工組織設(shè)計，制定具體工程的施工程序，并按程序?qū)κ┕と^程實(shí)行質(zhì)量控制。5施工過程中，不得違反設(shè)計文件擅自改動系統(tǒng)、參數(shù)、設(shè)備選型、配套設(shè)施和主要使用功能。當(dāng)修改設(shè)計時，應(yīng)經(jīng)原設(shè)計單位確認(rèn)、簽字，并得到建設(shè)單位的同意，在通知監(jiān)理方之后執(zhí)行。6施工安裝的全過程、竣工設(shè)施的詳細(xì)情況、所有操作和維護(hù)程...
一、防靜電地面（1）防靜電地面面層應(yīng)選擇耐磨、耐腐蝕、耐老化、不產(chǎn)塵、防火并具有穩(wěn)定持久的防靜電性能的材料制作。（2）在有220V及其以上電壓的場所，其防靜電地面宜使用靜電耗散型材料，其表層的表面電阻應(yīng)為1×105Ω~1×1010Ω，或體積電阻1×104Ω~1×109Ω（3）具有不燃性能要求的地面宜選用防靜電水磨石和防靜電瓷質(zhì)地板。二、防靜電水磨石地面（1）防靜電水磨石所用砂、石、水泥嵌條等材料，應(yīng)符合規(guī)范的有關(guān)規(guī)定。（2）在導(dǎo)電地網(wǎng)上...
一、一般規(guī)定1消防系統(tǒng)施工使用的設(shè)備、組件和原材料應(yīng)符合設(shè)計要求，并采用符合法定機(jī)構(gòu)檢測確認(rèn)合格的產(chǎn)品。2消防系統(tǒng)工程施工中采用的工程技術(shù)文件、承包合同文件對施工及質(zhì)量驗(yàn)收的要求不得低于本規(guī)范的規(guī)定。3自動噴水滅火系統(tǒng)、氣體滅火系統(tǒng)和火災(zāi)自動報警系統(tǒng)的工程施工及驗(yàn)收應(yīng)符合相應(yīng)的國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。二、防排煙系統(tǒng)（1）排煙管道的安裝試驗(yàn)應(yīng)符合規(guī)范的有關(guān)規(guī)定。（2）排煙管道的隔熱層應(yīng)采用厚度不小于40mm的不燃絕熱材料。（3）磚、混凝土風(fēng)道的制作應(yīng)保證管道的氣密性，灰縫應(yīng)飽滿...
一、一般規(guī)定潔凈室配電系統(tǒng)施工應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑電氣工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB 50303的要求，對所需各種材料、管線、盤柜、開關(guān)、燈具等檢驗(yàn)合格后進(jìn)行。二、線路（1）潔凈區(qū)用電線路與非潔凈區(qū)線路應(yīng)分開敷設(shè)；主要工作（生產(chǎn)）區(qū)與輔助工作（生產(chǎn)）區(qū)線路應(yīng)分開敷設(shè)；污染區(qū)線路與清潔區(qū)線路應(yīng)分開敷設(shè)；不同工藝要求的線路應(yīng)分開敷設(shè)。（2）穿過圍護(hù)結(jié)構(gòu)的電線管應(yīng)加設(shè)套管，并用不收縮、不燃燒材料將套管密封。進(jìn)人潔凈室的穿線管口應(yīng)采用無腐蝕、不起塵和不燃材料封閉。有易燃易爆氣體的環(huán)境，...
一、給水1污染區(qū)域特別是微生物污染區(qū)域內(nèi)的供水管，不得與用水設(shè)備直接相連，必須有空氣隔斷，配水口應(yīng)高出用水設(shè)備溢出水位，間隔不應(yīng)小于2.5倍出水口口徑。在供水點(diǎn)和供水管路上均應(yīng)安裝壓差較高的倒流防止器，供水管上還應(yīng)設(shè)關(guān)斷閥，供水管上的倒流防止器和閥門應(yīng)設(shè)在清潔區(qū)。2潔凈區(qū)的給水管道應(yīng)涂上醒目的顏色，或用掛牌方式，注明管道內(nèi)水的種類、用途、流向等。3生活用水系統(tǒng)不應(yīng)采用鍍鋅鋼管，可選用給水塑料管、不銹鋼管、無縫鋼管，工藝和空調(diào)給水系統(tǒng)應(yīng)選用無縫銅管、聚丙烯管、不銹鋼管，并應(yīng)采用...